二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9145240 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是利用等離子體蝕刻技術實現高通量半導體制造的高性能介電蝕刻反應器。該設備提供了一個高度控制、低溫、高密度的等離子體環境，用於蝕刻高級介電材料層中的細膩特征。該系統由高性能真空室組成，能夠達到高達5 Torr的過程壓力。這個腔室由一個射頻電源供電，允許創建一個高密度的等離子體通過復雜的結構在介電層蝕刻。腔室的設計還允許快速疏散，使單元實現快速處理時間和提高產量。專有的氣體噴射機允許產生有利於不同介電材料類型等離子體蝕刻的氣體混合物。通過控制氣體的混合物，結合等離子體的功率和腔室的溫度，這種工具能夠蝕刻一些最苛刻的介電層。非資產組件如高分辨率光學（HROS）和陰影遮罩系統進一步加強了這一過程。這些允許創建具有最小失真的高分辨率特征，這對於介電層制造中所涉及的微調過程是必須的。除了等離子體蝕刻工藝外，商會還提供了一個與抗蝕劑剝離工藝兼容的環境。這使得能夠去除抗蝕劑材料，從而能夠精確形成金屬和介電元件，這對於先進的半導體器件制造至關重要。AMAT Centura 5200為蝕刻細膩的介電層提供了高度精確和一致的工藝。通過先進技術和精確控制的結合，這一模型可以提高工藝產量和吞吐量，而不會影響質量。該設備是推進現代半導體制造工藝的關鍵工具。