二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9181378 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種多室反應器，設計用於半導體工業的一系列生產過程，包括蝕刻、沈積和離子植入。該設備能夠同時處理多達12個晶片，提供高效的生產率。5200對每個工藝容器都有獨立的真空、惰性氣體和化學管理系統。它還包括一個物理氣相沈積（PVD），一個電子回旋共振（ECR），和多個靜電夾具（ESC）系統。ESC允許反應堆精確控制等離子體參數，從而產生更好的蝕刻和沈積結果。5200的設計考慮到兼容性，允許運營商將其整合到任何類型的半導體處理系統中。來自AMAT Centura 5200的接口可以連接到設施的計算機,從而提供設備與操作員之間的通信。這使得操作員可以同時監控多個參數，提供改進的過程控制和晶圓產量。5200還包括一個包含高級警報的圖形用戶界面，提醒操作員註意潛在的問題或問題。5200是當今市場上最先進的反應堆之一，提供多種工藝效益。它采用了最先進的等離子體推進和均勻性技術，為用戶提供了更高的吞吐量和過程重復性。5200還具有一個先進的端點檢測單元，其設計目的是在蝕刻造成晶圓損壞之前結束蝕刻。此外，它還具有先進的氣體控制能力，包括尾氣流量調制、ECR能力和反應性氣體混合。5200的設計符合所有適用的安全要求,既可靠又安全。該機設計符合NFPA標準，包括NFPA 85、NFPA 86和NFPA 496。此外,安全功能還包括用於消除過度蝕刻的回滾機制、高級行程監控和高級故障鎖定配置。APPLIED MATERIALS Centura 5200因其先進的技術和安全特性，是半導體加工行業的理想選擇。它為用戶提供了最高的吞吐量和流程可重復性,以及可靠、安全的操作。