二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9184781 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種單晶圓、多模、感應耦合等離子體（ICP）低壓化學氣相沈積（LPCVD）型反應器，設計用於制造用於各種半導體器件應用的納米級固態元件。它有一個靈活的工藝室，可以配置用於沈積廣泛的薄膜，包括矽（Si）薄膜、氮化物薄膜和中性矽薄膜。它還具有高功率射頻發生器，使操作員能夠精確控制等離子體中離子的濃度。AMAT Centura 5200是一種多工具反應器，能夠為生產用於先進技術節點的半導體模具提供卓越的沈積均勻性和過程控制產量。反應堆通過易於使用的直觀用戶界面和預先編程的配方降低了擁有成本。高效的自動晶圓交換站允許在AMAT高吞吐量模式下快速作業切換和晶圓吞吐量高達每小時81個晶圓。APPLIED MATERIALS Centura 5200通過腔室冷卻和模擬熱擴散提供卓越的熱管理。這允許在整個基板上具有一致的薄膜厚度和快速的工藝時間的高沈積速率。通過可調擋板保持較低的腔室壓力，這有助於工藝腔室更快地達到較高的溫度均勻性。Centura 5200的設計是通過五軸控制、激光晶圓映射系統和先進的晶圓處理技術實現超低缺陷級別。集成的快速傅立葉變換（FFT）光譜技術探測過程中基板的均勻性。高級工具的實時過程控制功能允許操作員快速檢測沈積非均勻性,並在幾分鐘內調整參數以更好地處理。通過集成過程監控功能和靈活性,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200可以提高產量和吞吐量,並加快上市時間,即使在最具挑戰性的節點上也是如此。這使得該工具對於制造納米級元件的設備制造商和研究機構極具吸引力。