二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9196778 待售
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ID: 9196778
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
PECVD System, 8"
Process: eMax
JMF
SMIF Interface: No
Chamber A / B / C: eMax
Chamber F: Orientor
Load lock A / B: Narrow
(6) Wafer sensors
EPD Controller
System placement: System alone
Chamber A / B / C:
RF Match: 0010-30686
RF Generator: OEM-28B
ALCATEL ATH1600M Turbo pump
Throttle valve
MKS TYPE127 1TORR Mono meter
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP+
L/L Wafer mapping
Slit Valve / Plate type: Standard
Robot blade: Ceramic
W/F Slippage sensor
N2 Purge
Heat exchanger (Chiller): No
Dry pumps: No
System monitor: Stand alone
Gas panel configuration: 7 Channels
Chamber A:
CL2 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 300 Sccm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / SEC-4400M
Chamber B:
C4F8 / 50 Sccm / SEC-7440MC
CO / 500 Sccm / SEC-7440MC
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 200 Sccm / SEC-4400M
O2 / 50 Sccm / SEC-4400M
CHF3 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Chamber C:
CL2 / 100 Sccm / SEC-7440MC
CHF3 / 50 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 2 Slm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Electrical:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Power: 208 VAC, 4 Wires, 3 Phase delta
Missing parts:
(2) Slit valves
(3) Flow sensors & coolant lines
EPD Monitor
Liner for B-ch
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種高容量的加工反應堆，為集成電路和先進半導體器件的制造提供卓越性能。AMAT Centura 5200的設計考慮到了先進的自動化和靈活性,從而實現了復雜晶圓處理任務的精度和速度。APPLIED MATERIALS Centura 5200配備了廣泛的自動化功能，如自動晶片處理、可變位置加載/卸載、自動抗蝕劑和蝕刻工藝、自動激光陣列以及能夠同時處理多達七個晶片。此外,Centura 5200還提供高級檢查功能,如自動邊緣掃描和缺陷檢測。此高級功能集使AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200能夠比傳統的處理系統實現更高的準確性和吞吐量。AMAT Centura 5200能夠在各種處理條件下可靠運行,確保在各種環境溫度和壓力下的性能一致且可預測。它還配備了一個內置的環境監測系統，幫助操作員確保安全和有保障的加工條件。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200先進的動態控制系統不斷監控和調整反應堆的內部壓力,確保在整個蝕刻過程中保持最佳狀態。Centura 5200還采用精確的過程控制系統,可持續監控和調整氣流和壓力水平,從而提供可靠且可重復的過程性能。該系統使得反應物濃度的精確控制，以及精確的溫度和流動時間設置，讓用戶每次都能以可重復的過程達到精確的結果。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200還配備了集成工藝控制計算機,可提供晶圓溫度和壓力的實時數據以及其他重要的晶圓對晶圓工藝參數。AMAT Centura 5200先進的自動化和過程控制能力,加上強大的設計和構造,使其成為大容量蝕刻應用的絕佳選擇。APPLIED MATERIALS Centura 5200能夠同時處理多達7個晶圓,保證每個周期都能提供可靠且可重復的結果。它的高級自動化和過程控制功能還使操作員能夠高效、準確地控制其蝕刻過程的參數,從而確保始終保持一致和可預測的性能。
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