二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9206626 待售

AMAT（APPLIED MATERIALS）AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種熱處理反應器，設計用於半導體晶圓的制造過程。反應堆提供高容量的吞吐量、低擁有成本和精確的過程控制能力。它為創建安全高效的半導體生產環境提供了理想的平臺。AMAT Centura 5200由先進的四核處理器驅動,並集成了先進的自動化過程控制（APC）系統。APC提供了快速配方開發和配方管理的動態途徑。它還使過程的連續閉環控制能夠在產量和產品質量方面達到最佳的過程結果。APPLIED MATERIALS Centura 5200的熱控制帶有高級功能,如Quad-Flow均勻性系統。此高級功能可確保工藝溫度均勻地分布在感光器上。這確保了一個統一和可重復的過程。該腔室還具有靜電卡盤（ESC）頂板，在加工過程中固定晶片，消除了模模和模腔不均勻。Centura 5200還具有一個PECVD腔室,可為生長中的薄膜提供低溫、高通量的解決方案。PECVD室提供多種可選選項，從Al和SiOx薄膜到TaN薄膜和多晶矽薄膜。該室還具有生長不同結構和厚度的薄膜的能力，例如制造多層薄膜。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200可集成到全自動生產線，非常適合中高批量生產。反應堆接線用於四線控制，使Centura能夠與大多數工藝機器人集成。其先進的真空系統保證了高吞吐量，最大限度地縮短了工藝時間，並取得了最佳工藝效果。綜上所述,AMAT Centura 5200是一個最先進的熱處理反應堆,在晶圓制造過程中提供精確的工藝控制、高吞吐量和成本節約。其先進的特點和集成能力使其成為中高批量生產線的完美解決方案。