二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9221091 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種高效可靠的反應堆，用於各種半導體制造工藝。它將一組獨特的工藝技術與可預測和可重復的結果結合在一起，從而能夠提供卓越的性能。它具有較高的吞吐量性能,旨在確保快速、一致的晶圓生產。AMAT Centura 5200是一種基於先進低壓PECVD技術的單晶片顯著集成化學氣相沈積（CVD）設備。它是一個通用反應堆系統，可以配置為執行廣泛的工藝化學和氣體輸送，以及不同的沈積速率和腔室大小。該設備提供業界領先的低壓CVD功能,旨在實現各種薄膜沈積和蝕刻應用。PECVD過程模塊結合了許多專有的過程控制技術,可提供最高級別的精度和可重復性。這樣就可以獲得更高質量的CVD薄膜沈積。APPLIED MATERIALS Centura 5200通過先進的控制技術得到進一步增強,使用戶能夠從頭到尾控制沈積過程。這包括先進的晶圓跟蹤技術，為用戶提供增強的工藝和產量控制，以及更大的吞吐量。Centura 5200還配備了完全自動化的熱管理機器,以提高產品完整性。該工具能夠支持高達每小時2000晶圓的吞吐量以及Si、SiC、Co、W和Ta等常用基材。總而言之，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一種先進、可靠和高效的反應堆，適用於廣泛的CVD應用。它提供卓越的性能、可重復性和高產率。