二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9240242 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是為半導體制造工業設計的多反應堆。該反應器用於將介電層和半導體層的薄層沈積在IC上。它為復雜的集成電路結構提供了頂級的精度、準確性和產量。AMAT Centura 5200的主要特點是其先進的模塊化結構。它包括一大堆模塊,如摻雜前反應室、摻雜後反應室和渦輪泵。摻雜前反應室是一種密封的環境,允許引入反應性氣體進行摻雜、圖樣化和沈積操作。它也作為沈積過程開始前引發晶片的環境。後摻雜反應室用於沈積基於E-Beam工藝的電介質或半導體薄層。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200具有渦輪泵,提供穩定和靜態的真空環境,以穩定反應室內的大氣。Centura 5200的尖端設計經過優化,可最大程度地減少表面汙染並最大程度地減少顆粒缺陷。沈積過程中采用了多種並發技術,如計量和粒子控制特征,監測各層的臨界尺寸和變量。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200的設計具有很高的可配置性,可以根據各種工藝要求進行定制。除了其最先進的工程外,AMAT Centura 5200還為半導體制造提供了許多好處。模塊化設計允許同時沈積薄層和復雜層,減少循環時間,簡化過程控制。此外,它還有助於降低顆粒和缺陷水平,提高設備和產品的可靠性和產量.最後,APPLIED MATERIALS Centura 5200使用的強大技術還確保了高吞吐量、高效率和準確性,同時保持了產量和成本之間的平衡。
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