二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9251054 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一款高度先進和可靠的半導體沈積設備，旨在滿足現代半導體行業的需求。該系統被設計為提供卓越的性能，高工藝速度和優異的效果，即使具有高吞吐量和大基板。該單元基於最新的逐層材料沈積技術，允許同時沈積多層。AMAT Centura 5200可實現精確的材料沈積,在整個基板表面具有高均勻性、高一致性和最小的汙染水平。該機使用超精密元件，如閉環激光調平和精確沈積速率監測，以確保薄膜沈積的一致性和可靠性。此外，該工具的機器人負載鎖允許快速和自動化的裝載，卸載和轉移基板。該資產還配備了多源、多配置源腔室。這樣可以同時沈積多達四種不同的材料，提供精確的厚度控制和較高的沈積速率靈活性。APPLIED MATERIALS Centura 5200功能強大,提供3.6 nmol/min的輸出級別,薄膜速率為0.023nm/min。為了增加靈活性，該型號還能夠在多個頻率下運行，溫度範圍很廣。Centura 5200還提供高級控制功能。它使用分布式計算機架構，將幾臺嵌入式計算機集成到設備的各種組件中。這允許精確控制系統的過程參數，如氣壓和等離子體功率。此外,它還提供數據日誌記錄、報警和實時報告功能,以便於操作。總而言之,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是用於薄膜沈積的先進、可靠且高度可定制的工具。它能夠提供出色的結果,並可以幫助半導體制造商提高生產效率和優化工藝。