二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9253559 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200反應器是一種先進的氧化物、氮化物和其他材料的加工室。該反應堆主要用於半導體和先進的包裝裝置制造，是這些領域最受歡迎和用途最廣泛的反應堆之一。它具有多用途功能,並提供高級功能以提高產量。AMAT Centura 5200反應堆是一種高度靈活、先進的工藝室，最大處理室容量為2.5-16立方英尺，額定壓力大於0.1 mTorr。它具有多種工藝能力，包括等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、大氣和低壓化學氣相沈積（APCVD和LPCVD）、高溫和低溫退火以及快速熱處理（RTP）。它配備了一個正在申請專利的「Cool Edge」功能，以減少工藝基板上的熱應力，以及一個集成的雙微米基板平整器和接觸系統，以提高基板平整精度。它還具有一整套附加功能和優點，如：自適應調諧自動腔室優化系統、具有集成雙微米接觸系統的精密基板調平器、雙端口泵站、自備電源和采用超流速技術的氣體輸送系統。它旨在滿足各種半導體器件的生產需求，如：單晶晶片、MEMS、CMOS、IC和其他高級封裝器件。APPLIED MATERIALS Centura 5200反應堆提高了工藝性能和可靠性，提高了整體產量和工藝一致性，使得生產出更可靠的產品。其緊湊的設計和易用性使其非常適合研究和生產應用。其可靠的性能和廣泛的工藝能力使其成為現代半導體制造環境的理想選擇。