二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9256948 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種基於等離子體的反應器，設計用於先進的等離子體增強氣相沈積過程。該反應器用於各種底物上的薄膜層沈積。反應堆配有精密源氣體輸送系統，能夠在沈積過程中提供無與倫比的控制水平和精度。源氣用於在工藝室內創造均勻的等離子體環境，允許精確控制基材上的沈積速率、溫度和均勻性。AMAT Centura 5200采用自動腔室幾何設計,減少了清潔和維護所需的時間,同時也最大限度地減少了手動對齊的需要。它還配備了集成等離子體發生器，通過精確的預熱和熱處理後區域推動基板等部件，確保沈積過程中使用的所有材料在沈積發生前得到適當處理和預熱。反應堆配有先進的反饋控制系統，允許用戶監控正在進行的過程參數，並允許他們根據需要調整過程的精度。反饋還允許用戶設置特定於過程的參數，從而使反應堆產生更加一致和可重復的結果。先進的等離子體發生器確保整個工藝室內的等離子體環境均勻，從而產生高度均勻的沈積速率。APPLIED MATERIALS Centura 5200專為高度復雜的過程而設計,例如涉及大型復雜基板和多層堆棧幾何形狀的過程,使其適合先進的納米結構和MEMS應用。能夠在同一腔室內運行多個進程模塊，確保高吞吐量，具有高可重復性；此外，自動腔室幾何形狀確保了用戶能夠快速準確地執行復雜的三維沈積任務，同時還提供了緊湊的物理足跡。最後，Centura 5200是一個高端反應堆，擁有大量非標準特性，使其非常適合先進和創新的應用。集成的源氣體輸送系統、自動腔室幾何形狀和先進的等離子體生成在沈積過程中實現了無與倫比的控制和精度，而模塊化設計使系統功能根據需要易於改變或升級。這些特性結合在一起,使AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200成為先進薄膜沈積和納米結構的理想選擇。