二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9262487 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是為先進電子半導體制造而設計的化學氣相沈積（CVD）反應器。用於在矽、鋁、玻璃、鋼等基板上沈積復合薄膜。反應堆利用直流和射頻等離子體源進行蝕刻、沈積和清洗。AMAT Centura 5200因其專門的混合型感受器配置與雙源等離子體設備相結合，對III-V和II-VI復合薄膜的沈積特別有用。這種獨特的組合為用戶提供了非凡的統一性，即使在非常大的運行。此外,直流電源具有卓越的均勻性和可重復性.應用材料Centura 5200的大容量和高處理速度是通過其專利、垂直、原位控制反應物流動而實現的。這使用戶能夠在晶片逐個晶片的基礎上優化工藝，創建一個均勻且可復制的薄膜。該系統具有精密薄膜沈積控制的高靈敏度端點檢測單元，使薄膜沈積具有優良的成分控制、優越的表面質量和優越的層對層均勻性。該機還設有加熱工藝室，以防止在基板表面形成冷凝，為用戶提供更精確、可重復和長期的工藝控制。此外,該工具還具有較低的顆粒數量和良好的工藝室清潔度.這允許使用更大範圍的晶圓尺寸和基板，以及更廣泛的工藝步驟和溫度。Centura 5200具有巨大的23 英寸/580mm晶片裝載能力，以及最大壓力1x10-5 torr的真空處理室。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200旨在為客戶提供先進的CVD技術,並在晶圓的整個表面上提供精確的薄膜沈積功能。它能日復一日地以最高的可靠性、可重復性和均勻性來實現半導體生產。