二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9281040 待售

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ID: 9281040
晶圓大小: 8"
Epitaxy reactor, 8" (3) ATM Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是晶圓級處理的先進設備。它設計用於多種應用,包括化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)、蝕刻和光刻。該系統為復合半導體、光學和高級邏輯材料的生產提供了可靠、經濟高效的解決方案。AMAT Centura 5200配備了全套工具,可同時支持批處理和內聯處理。它包括一個300毫米反應堆腔室,能夠在一個裝載循環中容納15個晶圓。在吞吐量方面,APPLIED MATERIALS Centura 5200提供30分鐘的周期時間,每小時最多可提供25個晶圓。在工藝精度方面,該單元功能強大,具有0.5%至1.0%的可重復精度和0.5納米的極限精度。該機器還提供一系列的環境和安全控制功能,包括閉環環境工具,以確保清潔、高效的操作。它還具有一個可編程的直接通風口資產和一個幹燥的外骨骼設計,保護晶片免受有害汙染物。在安全方面,Centura 5200設計用於檢測各種安全隱患,並提醒操作員註意危險。它也是為能效而設計的,能效率高達92%。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200型號的可用軟件選項提供了對整個過程的強大控制。它具有基於Windows的處理軟件和用戶友好的圖形用戶界面,使用戶能夠快速構建程序和控制流程。該軟件允許操作員訪問各種參數,包括負載增長率和腔室壓力。此外,軟件還包括一個報告設備,使操作員能夠分析和查看流程數據。總體而言,AMAT Centura 5200是一個通用且可靠的晶圓級處理系統。它提供可靠的性能以及廣泛的過程控制和安全功能。該單元還提供了一套軟件選項,使用戶能夠快速、輕松地控制流程。憑借其具有競爭力的價位和效率,APPLIED MATERIALS Centura 5200是復合半導體、光學和高級邏輯生產的理想解決方案。
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