二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9401872 待售
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ID: 9401872
優質的: 1996
Dry etch cluster
(3) Process chambers
RF Supply cabinet containing
RFPP LF10A RF Supply
RFPP RF20R RF Supply
(3) ENO IEM-12B3 RF Generators
(4) BOC EDWARDS QDP80 Vacuum pumps
(2) BOC EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
(3) NESLAB HX 150-CHX Recirculating chillers
NESLAB Steelhead 1 CHX recirculating chiller
Power supply: 208 V, 60 Hz, 139 kVA
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是設計用於半導體工藝制造的反應堆。專門設計用於支持銅電化學沈積、銅化學機械拋光和銅電化學蝕刻工藝。腔室有能力處理尺寸從150毫米到300毫米不等的晶片。AMAT Centura 5200具有強大的平臺,提供優化的一致性、可重復性和無與倫比的設備靈活性。獨立、低漂移、動態和靜態電源可提供精度和穩定性。先進的電鍍化學，加上獨特的雙電極調諧和過程監測策略，提供優越的脈沖形狀控制，以減少變化，進一步提高均勻性。APPLIED MATERIALS Centura 5200采用熱墻設計,可促進高級流程開發並優化性能。模塊化工具包還允許流程擴展和開發以及提高吞吐量。Centura 5200的全自動氣體輸送系統和先進的兩級洗滌裝置確保了卓越的氣體控制一致性和準確性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200還配備了先進的過程監視機器TELED®工具,其中包括邊緣BIOS®映像和過程狀態數據庫。此資產可以在所有過程中快速監控配方變更、漂移值、模型狀態和趨勢,從而提供從初始校準到以後維護和優化的全面控制。這種卓越的控制和靈活性使AMAT Centura 5200成為滿足各種半導體工藝制造要求的理想解決方案。它具有高度可靠、高效和優化的特點,可實現最高的精度、均勻性和速度。APPLIED MATERIALS Centura 5200是革命性的半導體加工工具，也是半導體工程的關鍵資產。
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