二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9402491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是半導體製造工業中使用的最先進的沈積反應室。它提供了真空濺射、化學氣相沈積和熱氧化在晶片上形成薄膜金屬或介電層的能力。AMAT Centura 5200有一個24英寸的單晶圓工藝室，最高工作溫度為1,000 °C。它配備了兩個獨立控制的濺射源，允許材料在晶片上均勻沈積。它還包括兩個射頻電源，既可用於濺射，也可用於氧化等熱過程。除了自動化的過程控制外,APPLIED MATERIALS Centura 5200還配備了集成的過程控制設備,可立即提供反饋以確保晶圓塗層的準確性。此系統還允許用戶查看實時流程數據並在需要時修改沈積參數。該室還設有一個具有精確計量能力的氣體輸送裝置和一系列閥門，使用戶能夠準確控制各種過程。Centura 5200的設計具有多種安全功能,如高壓密封機等,可保護環境和人員免受危險材料的任何潛在釋放。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是大批量生產和研究應用的理想機器。它具有較長的使用壽命和細致的工藝完整性，使其適合以最具成本效益的方式制作出質量最高的薄膜。其獨特的沈積方法、精密的過程控制和安全特性組合，確保了它是設備開發者和制造商中的領先選擇。