二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega #293642211 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega
ID: 293642211
晶圓大小: 8"
HDP System, 8" (2) Chambers Gas: SiO2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega是為低k介電CVD應用而設計的先進沈積反應器,在高級半導體加工中完成。該反應堆的設計目的是為需要制造復雜元件的工程師提供高通量和準確性。AMAT Centura 5300 Omega具有先進的溫度控制技術以及精確的氣體分配能力。它由一個溫度控制的基板級組成,為所需的薄膜提供精確而均勻的沈積。由於能夠在10秒內將基板加熱到精確定義的工藝溫度,因此此過程允許極快的循環時間。此外,精確的氣體分布確保每一種基材都能得到均勻數量的所需沈積氣體,從而提高產量。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega利用先進技術和復雜的過程控制系統的專有組合,為所有應用程序提供了精確度。整個裝置包括一個高對流LPCVD室、尖端的PECVD反應堆以及安全和環境監測系統。這種組合允許更高的收益率和更好的可預測性。Centura 5300 Omega還結合了堅固、廢水安全的結構和用戶友好的界面,為環境帶來了更高的生產力。反應堆的水密設計和不銹鋼部件使環境不受材料汙染,其多個裝載室在設備運行過程中很容易換出。為了提高速度和準確性,反應堆還設有觸摸屏顯示屏,為操作員提供有關腔室狀況的實時信息,並允許他們監測和控制過程。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega反應堆是為最敏感的應用而設計的,提供了高精度和可重復性。為此,它采用低k電介質CVD技術防止帶負電的顆粒造成芯片缺陷,並采用專有的過程控制系統,跟蹤過程參數並對其進行調整,以提高精度。總之,AMAT Centura 5300歐米茄反應堆是一個高通量、低風險、精確的沈積單元,專門為需要最高精度的應用而設計。其溫控機、氣體分配能力、堅固的結構、用戶友好的界面以及工藝控制工具,使其成為先進半導體加工的可靠高效選擇。
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