二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP Radiance #9055082 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP Radiance是一種高性能、自動化的大氣化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於制造先進的半導體和光電器件。該反應堆由一個石英噴頭和圓柱形室以及一個先進的控制系統組成。腔室分為三個獨立可控的加工區，允許設置和維護廣泛的加工參數。腔室有四種可獨立調節的氣體分布，用於輸送氫氣、氙氣、氮氣等工藝氣體，從而增加了柔韌性和控制力。AMAT Centura ACP Radiance使用可編程微波源，提供準確、均勻的等離子體加熱，允許更快的工藝時間和改進的膠片性能。微波源提供了根據工藝要求改變微波輻射功率和頻率的靈活性。該反應堆采用可編程熱管理系統（PTMS），通過調制微波功率在整個處理周期內提供精確的溫度控制。這有助於盡量減少區域不平衡造成的不均勻性。APPLIED MATERIALS Centura ACP Radiance具有直觀的圖形用戶界面,易於操作和編程。該控制器還提供實時過程監控和主動故障保護，以提高過程穩定性和可重復性。為確保反應堆以峰值性能運行，可能會增加一些可選組件，如離子源、渦輪泵和射頻發生器。與其他CVD沈積系統相比,Centura ACP Radiance提供了更高的吞吐量、更好的可靠性以及更高的產量和生產率。它能夠在先進的半導體和光電材料中創建復雜的特征和圖樣，使其成為制造超薄膜和高k電介質的理想工具。廣泛應用於薄膜晶體管、集成電路、微機電系統、LED晶片等先進電子元件的制造。