二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP-SIGE #9199635 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP-SIGE（原子電容等離子體表面絕緣柵極蝕刻）反應器是一種專門用於生產先進納米級晶體管和集成電路的等離子體蝕刻系統。它使用具有原子精密等離子體源的感應耦合蝕刻氣體，在蝕刻矽、移植物、砷化氙等絕緣材料方面實現高選擇性。AMAT Centura ACP-SIGE的工作原理是先將等離子體施加到矽晶片上，矽晶片是一種可以通過電流的基板。這將晶片的表面變成導體，從而能夠對蝕刻過程進行大量控制。隨著蝕刻氣體通過系統，來自晶圓表面的等離子體被蝕刻氣體通電，產生高度選擇性的蝕刻過程。可控的等離子體過程允許對目標材料進行極其精確的蝕刻，並對蝕刻過程造成的損害進行精確的控制。除了控制蝕刻工藝，APPLIED MATERIALS Centura ACP-SIGE還提供了一個低成本的解決方案來實現maxium選擇性。在蝕刻之前應用於晶片的集成柵極絕緣層有助於防止在界面上發生不需要的沈積或植入，確保蝕刻過程附著在目標區域，而不會對相鄰材料造成任何無意的損壞或汙染。Centura ACP-SIGE還允許使用高通量解決方案,每分鐘可蝕刻多達12立方厘米的材料。這意味著可以在更短的時間內處理更多的材料,從而提高生產率和效率。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura ACP-SIGE（原子電容等離子體表面絕緣柵極蝕刻）反應器是一個非常好的工具，用於在預算緊張的情況下生產高質量的集成電路和晶體管。它提供了對蝕刻過程的高度控制、低成本和高度選擇性。ACP-SIGE卓越的吞吐量能力也使其成為大批量生產應用的理想選擇。