二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #293704588 待售
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ID: 293704588
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
EPI System, 12"
(2) Chambers
EFEM
Factory interface
(2) TDK Load ports
YASKAWA Robot
Wafer aligner
ACM MF with batch L/L
FES
FIS
RTS
(2) Gas pallets
(2) Batch load locks
(2) Cooling stations
VHP Robot
Single arm
Facility tray
Upper frame
Cooling module
Gas panel remote with controller
Chamber AC Rack
UI Touch screen
Stand
H2/N2 Pallet
Cover
Door
Water box
Miscellaneous parts
Process kits
Chamber A:
HORIBA Z500 Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
Chamber C:
UNIT INSTRUMENTS Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP是一種高通量的自動化反應堆設備,由AMAT設計,用於處理先進的材料和裝置結構。該系統旨在使研究人員和科學家能夠快速試驗工藝參數,創造和提煉新材料,並在復雜的生產過程中獲得更高的產量。該單元具有集成的組件和過程、過程機器人核心以及智能自動化功能,可用於開發行業領先的基板、高級材料和設備結構。AMAT Centura ACP反應堆機器由一個獨特和創新的過程機器人核心提供動力,簡稱pRobot。該核心負責為工具的過程和操作提供有效和可靠的自動化。pRobot包含由電子控制的機械臂組成的網絡,使用戶能夠遠程監視、管理和控制各種資產參數和流程。此核心有助於確保模型的運行可靠和一致,並且用戶可以根據需要輕松快速地重新配置或更改流程方案。APPLIED MATERIALS Centura ACP設備還具有高級工具監控、自動化和基板跟蹤功能。這些高級功能有助於最小化基板損壞,優化循環時間,降低總成本,並確保產品結構的準確可靠制造。此外,該系統還可以進行遠程監控和操作,使操作員能夠輕松了解設備的當前狀態和性能。這種實時監控還允許操作員快速響應流程條件的變化,確保流程產量最大化。Centura ACP反應堆機通過其多種工藝優化工具為用戶提供了高度的靈活性。這些工具包括用於底物制備、熱映射、定速調度、優化過程管理等的軟件工具。此外,該工具還具有循環配方、終點線記錄和優化報告等工具。這些高級工具有助於確保資產針對自動化進行優化,使用戶能夠快速準確地處理各種基材並滿足其先進的制造需求。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura ACP反應堆模型是一種先進且高效的工具,旨在幫助用戶創建和開發先進的基材、材料和設備結構。它旨在確保高產量、一致的性能和可靠的自動化。此外,設備的先進工具和實用程序可幫助用戶快速輕松地開發和完善流程。該系統是各種研究和生產應用的絕佳選擇。
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