二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5 #9252301 待售
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5反應堆是一種下一代加工設備,為先進的電子制造設定標準。這種多用途的加工工具使單晶片加工具有最大的能力,每晶片28件,可容納從4「到8」的各種基材。它旨在方便任何技能級別的操作員操作,並具有直觀的控制和對流程工具和信息的輕松訪問。AMAT CENTURA AP ADVANTEDGE G5反應堆具有直接驅動主軸電動機,可精確定位和對準工藝反應堆中的底物。其獨特的設計采用了軸流級和集成的輻射加熱器,在整個晶片上創造出均勻的溫度,允許過程均勻性和提高吞吐量。該工藝反應器由具有兩個溫度區的集成外殼保護,用於在加工過程中控制基板的溫度。先進的冷卻系統可確保可靠的過程冷卻和溫度穩定,並為不同的過程步驟提供獨立的流動路徑。該裝置還具有多室負載鎖和低真空烘烤功能,以防止加工室受到汙染。應用材料CENTURA AP ADVANTEDGE G5反應堆包含了一套先進的過程控制算法和精密過程傳感器。這確保了過程控制和結果以毫不妥協的準確性實現。該機器包括可編程的超高速控制信號以消除失真並確保可重復的性能,以及集成的刀具診斷程序以監控與流程基線的偏差。CENTURA AP ADVANTEDGE G5反應堆提供業界領先的工藝能力,包括用於CMOS圖像傳感器的高級異構薄膜工藝。先進的沈積和蝕刻工藝集成確保生產產量,並允許快速的工藝調整.它強大的射頻供電功能使過程具有多功能性,集成了變頻發電機和射頻匹配網絡,可實現變頻運行。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5反應堆是一種堅固可靠的工藝工具,為先進的電子制造設定了標準。其先進的功能、直觀的控制和精確的過程控制算法使其成為需要高性能流程設備的客戶的理想選擇。
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