二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9209227 待售
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ID: 9209227
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Polysilicon etcher, 12"
(4) Process chambers: DPS-ll
With AGN
ESC
Missing parts:
Qty / Name / Part number
(1) / View window / 0200-36461
(1) / 10 Torr gauge / 135-00013
(1) / Ion gauge / 3310-0006
(1) / Bias match / 0190-03009
(1) / HV / 0090-00865
(1) / Foreline gauge /1350-01232
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Monochrometer EPD / 0010-05478
(1) / Slit door / 0020-64587
(1) / Slit door bellow / 0040-76767
(1) / NA Heated weldment TEE-KF 40 / 0190-23502
(1) / Heated weldment 7.09 KF 40 R / 0190-23503
(1) / MF Robot driver / 0190-17853
(3) / E84 Cables / -
(2) / Special gas pipes / -
2006 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS II是一個為半導體工業中使用的加工材料而設計的反應堆。該反應堆能夠處理多種材料,包括氧化物、氮化物、矽化物和其他半導體材料,精度和精確度都很高。AMAT Centura AP DPS II的力學是基於「動態壓力傳感系統」(DPS)。這種創新的系統允許在加工或生長材料時進行精確和可調節的壓力控制。氣體的壓力和流動以及反應物的溫度都受到監測,並保持在精確的水平。由於能夠在不同的溫度下處理材料,因此可以靈活處理所處理的材料類型。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II還具有一種氣體歧管,用於向反應堆室內提供一氧化二氮、氮氣、氙氣等反應物。這種氣體歧管允許室內氣體的受控流動,這有助於確保過程的準確性。另外,柱塞註入系統(PIS)對電荷材料的註入提供了精確的控制.Centura AP DPS II的設計也是為了最大的安全性而打造的。一個有彈性的安全屏蔽防止飛濺,和雙charmonium反應室保持過程在最佳溫度。此外,還在反應堆室中安裝了一個遠程快門,以確保在使用過程中完全封閉。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II中的先進自動化技術為用戶提供了實時監控和遠程控制反應堆過程某些方面的能力。這樣可以提高準確性和控制率,同時還可以為用戶提供有關其流程隨時間變化的數據。在效率方面,AMAT Centura AP DPS II是同類產品中的佼佼者。其最先進的設計和先進的控制特性使其成為處理半導體材料的可靠可靠的設備。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS II具有精確的壓力控制系統和堅固的耐腐蝕結構,是半導體工業中使用的材料的生長、加工和表征的理想設備。
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