二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9392539 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS II（Advanced Plasma Downstream Equipment）是一種為大批量生產光伏電池、OLED顯示材料和各種其他薄膜產品而設計的反應堆。該反應堆結合了先進的等離子體沈積技術和簡化的化學氣相沈積工藝，以提高工藝的魯棒性和控制力。該系統的特點是能夠在各種各樣的過程中提供可重復的結果，而且維護成本低。AMAT Centura AP DPS II反應器可用於多種薄膜沈積過程，如無定形矽（a-Si）鈍化層、淺溝隔離層、化學氣相沈積（CVD）氧化層等。該設備對這些過程中的沈積速率、溫度和厚度提供可靠和準確的控制,使用戶能夠生產出具有精確控制和可重復性的高質量薄膜。該體系結構還促進氧化和鈍化過程以及介電蝕刻過程。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II反應器由一個工藝室、一個用於創建等離子體的高壓發生器、一個用於創建射頻等離子體的射頻電源和一個用於創建化學氣相沈積的MESA源組成。該工藝室設計為提供高容量的生產環境，大容積的工藝室為生產高密度薄膜沈積物創造了極好的環境。該機器還提供出色的晶圓操作功能，允許用戶改變晶圓在工藝室內的位置，以支持各種工藝。反應堆配備了實時端點檢測工具，用於控制沈積過程的結束，以及一系列過程監測和數據記錄選項，以幫助監測和維護過程的可重復性。此外,資產還支持一系列流程參數,允許用戶根據其特定應用程序自定義流程。最後,該模型采用靈活的縮放路徑進行設計,允許用戶在不大量投資新設備的情況下擴展生產。Centura AP DPS II反應堆是大批量生產光伏電池、OLED顯示材料等薄膜產品的絕佳選擇。由於其可靠、準確的過程控制，用戶可以通過重復性達到高質量的效果，使得設備非常適合商業規模的應用。此外,該系統提供了較低的維護成本,使其成為許多商業應用程序的經濟高效的解決方案。