二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler #293637141 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler是一種先進的反應堆，設計用於制造一系列晶圓生產過程中的半導體。該反應堆結合了高通量、低壓和優異的溫度均勻性，使設備的產量達到最高。它是小批量和大批量生產過程的理想工具。AMAT Centura AP Enabler采用創新的反應堆腔室設計，溫度範圍在-90°至+750°C之間。它提高了耐腐蝕性，增加了氣流，有助於在室內實現更高的均勻性。它還具有低發射率襯裏，有助於保持溫度均勻性和防止氧化。反應堆腔室還通過射頻、脈沖加熱和輻射加熱區進行加熱，以提供整個腔室的高效甚至加熱。AP啟用程序具有三級設計功能。這包括空間受限、完全控制壓力、溫度和流量控制,從而實現更好的配方一致性、改進的工作流程和高效的可擴展性。APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler具有無障礙的晶片處理設計,可快速高效地加載/卸載晶片,從而縮短吞吐量時間。該反應堆采用氣體分配和儲存系統技術，允許完全的過程靈活性和控制，以及各種獨立的裝卸入口。這樣可以實現最高效的工藝工程。反應堆還提供多種底物加工溶液，包括真空分裂、氧化、擴散和低溫化學氣相沈積。Centura AP Enabler通過各種傳感器提供集成的流程控制和監控,實現在線流程監控和實時流程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler還設計了簡化的操作員界面和自動化操作。這些特性使其成為制造高質量、高產量半導體產品的理想工具。