二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X反應器是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，能夠用靈活的配方進行處理，在同一腔室中運行多個過程。反應堆是為各種條件下的設備制造而設計的，其特點是能夠對先進工藝進行可靠的處理。它是一種節能反應器，可用於淺層溝槽隔離、層間介電、柵極介電、金屬、高k等應用，以及虛擬場蝕刻。它采用均勻、不均勻和混合氣體流動，具有極好的加工穩定性。AMAT Centura AP Ultima X反應堆是一種單晶片負載設備，利用自動配方發生器，用戶可以根據不同的工藝要求快速調整參數。機組上的氣體系統設計具有最大的靈活性，允許氣體的改變、混合和穿梭。該反應堆使用Freon-13和其他基於氟龍的制冷劑，允許一定範圍的溫度設置。反應堆還有一個可視化模塊，在運行配方時提供實時過程信息。反應堆兼具化學輸送和自動化系統，在原子層沈積（ALD）和CVD過程中實現卓越的熱控制。反應堆具有在啟動過程前自動調整溫度的功能。這樣可確保從運行到運行的可重復性,並消除手動幹預,從而實現更大的流程控制。應用材料Centura AP Ultima X反應堆的環境溫度可調節至最高800 °C。再者，反應器還有一個溫度控制機器，維持在工藝室內的溫度，以在晶圓上不斷的薄膜生長。APPLIED MATERIALS/Centura AP Ultima X是一種全面、節能、高性能的反應器,非常適合先進的工藝開發工作。其自動化程度高、熱控制性好、靈活性強，非常適合高產、高性價比的設備生產。