二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293794760 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP是一種下一代反應器，旨在提高涉及薄膜沈積的沈積過程的吞吐量和質量。AMAT Centura AP是一種先進的平行反應器，非常適合半導體工業的大批量制造。應用材料Centura AP由一個帶有裝卸站的自動反應堆室組成。該腔室配置為處理多種工藝氣體，如氧氣、氮氣和氙氣，以及矽烷或四氯化物等附加氣體。它配有一組電極以產生電場，目的是為了優化沈積過程。反應堆的自動化控制系統允許根據具體沈積任務精確調整壓力和溫度等工藝參數。操作時，過程氣體被釋放到腔室，在那裏電場創造最佳的沈積條件。然後，反應氣體進入基板，在基板上形成所需的薄膜。氣體隨後從腔室排出，腔室關閉，以確保用冷卻氣體適當清潔。Centura AP的設計易於維護,並具有自動診斷功能,使用戶能夠快速輕松地診斷和調整反應參數。此外，該系統的設計采用了抗汙染結構，以幫助在沈積過程中盡量減少汙染。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP的超小占地面積使其非常適合大批量生產線。反應堆還提供了對PVD（化學蒸氣沈積）和ALD（原子層沈積）等過程的最佳控制，具有廣泛的工藝參數和精確的均勻性。反應堆的高效性能和高吞吐量使其成為半導體工業具有商業吸引力的解決方案。