二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #9364673 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，為包括半導體、導體、電介質、III-V材料和Si/SiO2薄膜在內的多種材料設計。該反應堆以具有成本效益的價格提供了出色的工藝控制和可重復性。AMAT Centura AP反應器包括雙室設計和石英管，其中加熱前體材料誘導化學反應。然後將加熱的前體材料與試劑氣體反應，在底物上產生所需的薄膜。反應堆有一條加熱氣體管線，允許供應調節和安全的前體材料、一條試劑氣體供應線和一條帶廢氣管線的真空泵。反應堆具有廣泛的工作溫度範圍和壓力要求，這使得它非常適合應用於多個晶體取向，如（100）和（111）的Si基板表面。APPLIED MATERIALS Centura AP的高吞吐量使其適合大容量應用。反應堆配有多級工藝控制軟件，允許對氣體和溫度流動進行精確控制，同時能夠在整個過程中維持所需的條件。軟件界面為執行實驗或生產運行提供了易用性、靈活性和可重復性。Centura AP在設計上是模塊化的,它利用負載鎖定模塊,可以快速輕松地加載和傳輸基板。它具有廣泛的前體，其中包括元素前體（SiH4、PH3、B2H6）以及有機金屬前體（propargyl、butyllithium和trimethylgallium），但它也具有與其他化學前體一起使用的能力。該反應堆能夠通過調整自動化和工藝來實現每秒幾十埃到微米的增長率。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP維護水平低,是一種用戶友好型設計,具有多種安全功能。反應堆操作簡單，可定制以滿足特定要求。反應堆設計的魯棒性使其適合長期、可靠的制造環境運行。