二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ASP+ #9116838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP+是一種設計用於半導體晶圓加工的高效化學氣相沈積（CVD）反應器。先進的反應器能夠進行外延生長、多晶矽沈積和異國薄膜形成等先進沈積過程。AMAT Centura ASP+反應堆專為滿足大批量生產需求而設計，提供卓越的生產率、靈活性和優越的工藝控制。應用材料Centura ASP+反應器具有優化的設計,可提高膜的完整性.反應堆有一個超長的半導體室，可以增強熱隔離和均勻性。先進的設計允許快速輕松地集成到現有的制造基礎架構中。此外,Centura ASP+反應堆還采用了高溫脈沖感應沈積（HTPID）和快速緩沖調節（QBA）等先進技術,以改進生產控制和可持續性。反應堆裝有多軸精密機動化晶圓輸送系統。這樣可以確保晶片的精確放置和統一處理,而無需手動處理晶片。還提供先進的等離子體源，實現高密度等離子體（HDP）和低壓可變半徑電子回旋共振（LP-VREC）等先進的plasma−enabled過程，進一步增強過程可靠性和控制。Centrea ASP+反應堆還具有自動傳感器和警報功能,可監控過程值,並提供實時數據和遠程監控功能。高級數據采集和控制功能使操作員能夠快速發現流程參數的變化,並提供必要時采取糾正措施的方法。此外,用戶友好型軟件減少了培訓時間,並提高了操作員的工作效率。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP+反應堆為半導體晶圓加工提供了世界級的解決方案，提供了卓越的工藝控制、可靠性和效率。先進的特性和技術的結合可以在不影響生產力的情況下實現更好的產量和統一性。該反應堆的設計易於融入現有系統，為大批量生產提供了可靠、經濟高效的解決方案。