二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH系列反應器是一種用於高溫晶圓加工的真空設備。它是一個先進的系統，以小巧、用戶友好的設計提供可靠和高效的操作。它被設計用於各種晶圓尺寸，如200毫米、300毫米和大直徑晶圓。該設備具有高達1100 °C的高溫能力,為高性能工藝應用程序提供了範圍。AMAT Centura DLH系列反應堆通過其獨特的設計和配置，結合了強大的熱性能和出色的機器穩定性。集成反應堆設計包括一個低熱質量的微型管式加熱器，內建石英管/元件，用於快速熱處理（RTP）。微型管狀設計和矽化物保溫材料促進了卓越的熱響應，實現了卓越的溫度精度和嚴密的工藝窗口。DLH加熱元件也很高效，提供高功率輸入和快速加熱速率。此外,該工具還具有強大的離散級電源控制功能,可對過程進行精確控制。集成過程控制單元（PCU）為快速改進過程提供了精確的自動化。APPLIED MATERIALS Centura DLH系列反應堆提供了一系列先進的安全特性。完整性檢查在晶圓處理之前驗證每個資產的性能條件。此外,安全聯鎖、熱電偶和進氣壓力監測可以保護和監測熱性能,以實現卓越的安全性。最後，可以采用多種選項，如自動壓力控制、增強PID控制、石英進氣管等，進一步提高模型性能。總體而言，Centura DLH系列反應堆是一種用於高溫晶片加工的強大、高效、安全的設備。它具有良好的散熱性能和嚴密的過程窗口和強大的過程控制。其緊湊的設計提供了節省空間和方便用戶的操作。最後,它的一套安全功能提供了無與倫比的安全性和對系統性能的信心。
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