二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319 待售
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ID: 9093319
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8"
Process: ILD Deposition
Centura1 Frame
NBLL
(3) DLH
(1) MC/D
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH是一種用於半導體制造設施中晶圓加工的反應堆。這座反應堆有一個直徑約200毫米、高度約200毫米的加工室，並使用氦氣冷卻，提供室內低環境壓力。反應堆還提供超高真空操作，可以在低至10-7托爾的基壓之間運行。AMAT Centura DLH旨在為工程師和技術人員提供處理矽片的各種選擇和能力。這包括高吞吐量能力、對溫度、氣體輸送和壓力的精確控制以及在各種工藝條件下的操作能力。反應堆允許晶圓在高達1200 °C的溫度下加工，可用於金屬沈積、介電沈積、退火和蝕刻。對於金屬沈積，反應器能夠沈積鋁、銅和鈦並具有極好的均勻性。此外，反應堆為氧化物和氮化物等介電沈積以及抗蝕劑和多晶矽提供了極好的均勻性。應用材料Centura DLH反應器利用冷卻的擋板和定向噴嘴在工藝室內提供均勻的流動。這確保了晶片表面的均勻沈積速率，也有助於消除腔室中的顆粒和其他汙染物。反應堆還包括均勻性控制、晶圓溫度控制、工藝優化和實時控制等一系列先進特性和能力。這些功能使用戶能夠優化其流程以提高吞吐量和提高產量。此外，Centura DLH反應堆設計用於在維護和停機期間快速重新激活和清理工藝室。這樣可以減少停機時間並提高矽片處理的生產率。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH是一種可靠、高效的反應堆，用於矽片制造的各種工藝。這座反應堆擁有廣泛的先進特性和功能，旨在為用戶提供獲得高質量成果所需的靈活性和性能。
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