二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPN #9156591 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPN是一種先進的、多合一的沈積反應器，設計並用於半導體器件制造過程。這種沈積反應堆是最先進的，具有多區溫度控制、濕蝕能力、高沈積速率和低顆粒物生成等多種先進特點。AMAT Centura DPN設備包括一個垂直磁控管式陰極加上一個用於精確溫度控制的多區基板加熱器，全部集成到一個單一的、功能齊全的處理室中。該系統提供卓越的薄膜均勻性和出色的工藝可重復性,以及一系列可選功能,包括遠程註氣、自動裝卸能力、現場計量和現場節流。APPLIED MATERIALS CENTURA （DPN）的多區溫度控制和主動阻力控制允許均勻的溫度和基板均勻性。應用材料Centura DPN能夠在各種幾何形狀上保持均勻溫度,精度± 2.0 °C,表面溫度均勻度± 1.0 °C。這提供了出色的工藝控制,使沈積速率和均勻膜.Centura DPN具有高速、10步連續沈積能力,具有卓越的吞吐量能力。由於先進的過程控制算法、沈積均勻性、溫度均勻性和過程可重復性的控制,此單元在實現高吞吐量的同時不犧牲性能。CENTURA （DPN）針對先進的半導體器件制造進行了設計和優化，為跨多個行業的各種應用提供了理想的解決方案。這種沈積反應器提供了優良的工藝重復性和均勻性，以及高通量率，使其成為最苛刻的半導體器件制造應用的理想基材加工機。