二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G2 #9188278 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G2是為半導體加工而設計的熱反應器。它由一個高性能的多區工藝模塊提供動力，該模塊能夠達到1200°C的溫度，用於基板加工。該系統采用雙壁不銹鋼真空室和可提供高達200噸真空容量的集成真空助推器。AMAT Centura DPS G2包括專用的原位氣體凈化技術，以及晶圓裝卸自動化系統。反應堆室由一個氧化鋁陶瓷內室和三個獨立的外部部分組成，每個部分都有一個互鎖的頂蓋。頂蓋的石英窗便於觀察反應室的內部，而剩余的外殼包含冷卻通道，惰性氣體可通過該冷卻通道循環以進行最佳溫度控制。Centura具有創新的「綠洲效應」,它使用獲得專利的原位氣體凈化技術來清潔和監測室內的氣體水平。該工藝為優化室內汙染控制和晶圓質量提供了必要的環境控制。應用材料Centura DPS G2比傳統熱反應堆具有幾個明顯的優勢。不僅真空容量比等效傳統儀器高出7倍，還具有集成超高純度氣體輸送系統、高速輪廓掃描、多區基板溫度調節等特點。此外,系統還采用了先進的電源控制功能,使用戶能夠精確地確保每個基板的最佳工藝條件和可重復處理。Centura DPS G2用於半導體加工的靈活性進一步增強,它可以適應一系列單步和多步工藝解決方案。這包括低溫制造、高溫退火、氧化、氮化和選擇性外延生長等專門應用。多區溫度調節確保每種基板都能接受個性化的熱處理，使其能夠執行各種不同的處理方案。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS G2是一種理想的熱堆，適用於各種半導體工藝應用。它廣泛的可控性、堅固的結構和較高的操作能力使其成為產生一致和可靠的工藝結果的可靠和強大的工具。