二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9188283 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是一種用於制造集成電路的半導體反應堆。它是一種單晶片、多氣體、並聯等離子體蝕刻/沈積系統，主要用於開發最新的高性能設備。該反應堆自動化程度高，穩定性提高，安全特性增強。該反應堆具有一個熱晶片處理系統和多種工藝氣體，可用於蝕刻或沈積晶片表面的金屬層或氧化物。使用多種氣體的能力允許廣泛的加工可能性，例如控制金屬矽化物的生長，允許底物氧化，造成金屬區域更大的退火等。單晶片處理系統允許高度控制腔室的位置，如傾斜、角度和焦點，這對於各層的均勻厚度和均勻性至關重要。該反應堆的高級加工能力使晶圓制造過程的產量達到最高水平。AMAT Centura DPS G5 MESA采用溫控工藝室設計，提供均勻的溫度分布，具有高度的穩定性。這樣可以確保腔室保持在整個工藝周期所需的溫度。此外，該腔室還包含一個自動控制的氣隙、一對發射極電極和一個變頻射頻電源。該反應堆還具有內置的基於直接讀取微處理器的多參數控制器，能夠存儲多達2000種配方，以及其他功能。這些特點，加上反應堆運行成本低、熱均勻性好、熱漂移低、任務可靠性好、維護方便，使得應用材料Centura DPS G5 MESA成為各種制造工藝的首選。