二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9379818 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆是一種用於半導體制造過程的蝕刻室。該設備旨在支持各種蝕刻和沈積應用，為眾多基材提供高通量和均勻性。其獨特的設計提供了最大的靈活性和可擴展性,使其能夠有效地處理獨一無二的設計或原型設計,同時保持與行業標準流程的兼容性。AMAT Centura DPS G5反應堆由兩個不同的組件組成：腔室和腔室控制器.腔室由水平安裝在鋁制車身內的石英圓筒組成，支撐溫度均勻性和活性組件。腔內為圓柱形電極，容納基板。腔室控制器對腔室組件提供實時閉環控制/和反饋，允許精確控制基板溫度、壓力、流量和射頻功率。為了滿足這些精確的控制要求，G5反應堆配備了渦輪驅動的燃氣分級系統和數字溫壓控制器。氣體輸送裝置采用了不同壓力驅動的分級技術，以確保最優的原子/分子通量和室內的均勻環境。這樣可以提高處理速度,同時保持出色的一致性。此外，壓力控制器監測和調整室內壓力，以盡量減少外部源汙染的風險。最後，G5反應堆能夠支持各種射頻功率選項，從200kHz-1.7GHz開始，允許廣泛的動態蝕刻能力。G5反應堆為基板和工藝氣體的均勻性提供了全面的均勻性控制。G5反應堆具有高度的均勻性和對溫度、壓力、流量和射頻功率的精確控制，是許多半導體制造和沈積過程的理想機器，如濺射沈積、等離子體蝕刻和化學氣相沈積。其強大的設計和處理環境條件變化的能力使其成為工程和研究環境的理想選擇。由於其優化的能力，APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆非常適合各種高容量、高精度的工藝，是現代半導體制造實驗室武器庫中的絕佳武器。