二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA（金屬蝕刻選擇區）是一個高度先進和用途廣泛的反應堆平臺，設計用於高級蝕刻和沈積過程。該反應堆屬於第五代AMAT Centura DPS系列系統，與前一代反應堆相比，具有顯著和可靠的性能優勢，並已在業界進行了多年的測試和驗證。AMAT Centura DPS G5 MESA反應堆建在一個大的底座上，允許廣泛的工藝流程和多用途的設備靈活性。這座反應堆還配備了多種氣體和流體入口和出口，使各種配置適合各種工藝要求。反應堆還采用模塊化設計，為不同的工藝步驟設置了單獨的腔室，以及可設置的工藝模塊，可以使用正面向下或側面向下的晶圓配置。反應堆的設計還包括一個先進的、易於使用的控制系統，它允許許多層次的自動化，並附帶各種過程監控和記錄工具。用戶友好界面還便於監測和跟蹤關鍵單元參數，以確保持續可靠和可重復的流程。反應堆具有超高的低能等離子體源，以及寬廣的射頻輸送功率水平，使其交付過程時間明顯快於同級別的系統。此外，反應堆的高性能等離子體源使其能夠處理最苛刻的過程，比如那些涉及高溫光刻過程的過程。反應堆還附帶了幾個高性能的過程端點檢測系統，包括行業標準的等離子體發射檢測機（PED）、渦流檢測（ECD）、高靈敏度光發射檢測工具（OED）。這些端點檢測系統的功能是檢測流程步驟何時完成,並幫助防止流程變化或缺陷生成。最後，APPLIED MATERIALS CENTURA DPS G5 MESA系列反應堆還包括一系列支持和維護選項，如工藝配方生成和優化服務、現場專家分析和故障排除以及延長保修和服務計劃。反應堆在運行和維護以及質量保證和合規性方面也符合最高的行業安全標準。