二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383830 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA反應堆是設計用於先進沈積應用的最先進的半導體加工設備。它是一個具有多種技術的模塊化反應堆，使其能夠適應各種工藝流程的具體需要。該系統基於AMAT專利的MESA等離子體源技術，結合了高功率、高可靠性和低成本。AMAT Centura DPS G5 MESA反應堆使用多源架構提供真正離散的等離子體源單元。它是一個雙區域機器，有兩個獨立的腔室，一個用於等離子體生成腔室，第二個用於底物腔室。等離子體室容納兩個獨立的主源等離子體，設計用於確保離子能量、等離子體密度和其他等離子體參數針對具體應用進行優化。它還具有可互換的氣體管線，能夠根據需要引入反應性和非反應性氣體。腔室由不銹鋼構成，氣密，帶有壓力調節的波紋管和通風口，便於維護和添加氣體。基底腔室可容納一個或兩個獨立的工藝模塊，具體取決於刀具配置，這些組件由等離子體腔室供電。它的模塊化設計可以方便地為各種沈積過程更換或重新配置模塊。此外，該室設有雙面快門，可用於維持無汙染環境或優化基板溫度的時間分辨率。基底室還設有一個原位石英晶體監測資產，用於監測氣流和其他工藝參數。應用材料Centura DPS G5 MESA反應器是先進沈積應用的可靠且經濟高效的模型。它的模塊化設計和尖端技術使流程的靈活性達到前所未有的水平,從而能夠在單個平臺上執行各種物理和化學上不同的流程。此外,它的低運營成本和快速的周期時間使其成為滿足日益增長的小型設備需求的理想選擇。