二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383832 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA
ID: 9383832
Etcher (3) Mesa chambers Axiom chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是一種性能高、可擴展、可靠的反應堆,用於蝕刻半導體和其他基板。MESA平臺可以支持多種流程技術,並為需要更高性能級別的應用程序提供最大的靈活性。AMAT Centura DPS G5 MESA反應堆平臺由無損直流電源、多級、多功能MESA處理器、高性能低壓系統等組件組成。參數可變直流能源產生了可靠、一致的電場,這是實現重復過程結果所必需的。集成的動力調節和安全模塊為工藝室提供了更強的性能和更好的保護。多級多用途MESA處理器旨在提供最高級別的流程準確性和可重復性。處理器體系結構是可編程的,並提供集成的流程控制功能,使自動化工具能夠針對特定流程快速高效地配置。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA配備了高性能低壓系統。這些系統的設計旨在提供低壓等離子體處理,以提高材料沈積速率並提高蝕刻速率。這些系統還能夠對基板進行高溫處理,從而實現薄膜沈積和退火等應用。Centura DPS G5 MESA的先進技術經過優化,能夠為最苛刻的要求提供卓越的工藝能力。其綜合功能集提供了增強的過程控制,使其成為研發新型半導體器件的理想工具。該系統適用於低k介電沈積蝕刻、集成電路制造、薄膜沈積等廣泛應用。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是半導體加工研究和制造應用的理想解決方案。該工具的高級功能使其成為提供可靠和可重復結果的最佳選擇。此外,系統精心設計的體系結構和高性能組件確保了效率和易用性,使其成為任何生產線的經濟高效解決方案。
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