二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #293817653 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應器是一種高性能的蝕刻/沈積設備，設計用於加工晶圓制造中的各種先進材料。它使用了可擴展的單晶片平臺，允許為各種應用沈積各種厚度的薄膜。該工具配備了高效、高真空、高通量的工藝，能夠以最大的工藝速率從大面積基板生產出均勻性和控制性極好的材料。AMAT Centura DPS G5反應堆的腔室尺寸直徑為8英寸，可容納直徑達8英寸的晶圓。它使用獨特的集成等離子體源，這使它比其他反應堆具有更高的可電離粒子密度。這意味著用戶可以在能耗較低的情況下實現更高的蝕刻和沈積速率。等離子體源還有助於控制顆粒汙染，允許使用幹燥蝕刻材料，減少晶圓損壞的風險。該反應堆設計采用全自動設計，可與多種晶圓材料配合使用，包括：矽、氮化移銨、磷化銨、氮化鋁、碳化矽和其他化合物。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS G5反應堆的晶圓裝卸站通過機械臂操作，提供了晶圓的快速、簡單、精確的操作。該系統與一個自動化單元集成在一起，該單元控制晶圓的裝卸和反應堆的其他功能。集成計算機機器還提供先進的計量、數據管理和過程監控。Centura DPS G5反應堆具有高度可靠的閉環控制工具,盡管工藝條件不斷變化,但仍能以最佳方式運行。由於其高分辨率的成像資產和主動冷卻模型,它還提供了高水平的靈敏度。這個工具還有一個內置的真空設備，有助於減少和防止沈積的顆粒和攜帶破壞性顆粒物的顆粒堆積。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應器是一種先進的高性能蝕刻/沈積系統，具有很高的性能和準確性。它是各種晶圓材料的理想工具,其集成特性有助於優化工藝效率和質量。
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