二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188280 待售

AMAT CenturaTM DPS G5是一種革命性的PVD反應器，旨在進行各種薄膜沈積過程。該反應堆為連續膜、襯裏膜或多種材料的交替層的沈積提供了卓越的工藝能力和生產率。它可以用於多種應用，如硬掩碼和蝕刻阻止層、屏障和擴散層以及反射層。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆基於傳統的DPS技術。這種設備提供了一個比其他反應堆更堅固可靠的平臺，並且具有高達250⅙晶圓輸入的高吞吐量。該反應堆的設計目的是減少循環時間，並最大限度地減少每個循環的金屬損失，提供更具成本效益的解決方案。它配備了工藝室和氣體輸送系統，以及控制工藝參數的先進機械、電氣和軟件系統。該反應器具有高性能、數字化、直流電源、高控制穩定性和可重復性，對於可靠的薄膜沈積至關重要。它還配備了一個易於使用、用戶友好、PC接口、單色控制的系統，帶有三維旋轉級，用於目標源定位。這允許精確的目標方向，以最佳的膜均勻性和保形覆蓋沿晶片的所有表面。反應堆還提供了廣泛的工藝室，以適應各種工藝應用。這些腔室由不銹鋼容器構成，可選擇單頂或雙頂，並采用石英鐘形罐技術，以盡量減少先前蒸發的分子和顆粒的重新沈積。該單元還支持基板預熱和冷卻的各種加熱和冷卻選項，以提高吞吐量、均勻性和產量。反應堆以幾種工藝氣體運行，以達到特定的薄膜性能。它包括一個全自動和可編程的氣體輸送機器，能夠支持多達八種反應性氣體和多達四種惰性氣體。腔室的壓力控制是不斷可調、高效管理的，以保持最佳工藝條件。AMAT Centura DPS G5提供集成的原位和異位計量,用於過程控制和優化。此工具完全與數字兼容,允許遠程訪問以更好地控制資產狀態,並促進更高效的工作流。