二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188281 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一種薄膜沈積反應器，設計用於高容量生產先進技術裝置。它是一種行業領先的薄膜沈積工具，如多晶矽、氧化矽和其他金屬氧化物，以及電介質和鈍化層。G5是一種大氣壓力、雙壓板、線性定向物理氣相沈積（LDPVD）平臺，利用獨特的雙室技術，允許精確和可重復的沈積。該設備采用單一源技術和廣泛的氣體輸送系統，能夠廣泛生產薄膜材料。G5腔室的兩個腔室都裝有自動百葉窗，在兩個腔室條件下均具有極好的均勻性，而且材料處理效率更高。G5還具有一個獨特的、正在申請專利的冷捕集功能，在沈積過程中捕獲基質汙染物，並允許更清潔和更有效地生產薄膜材料。G5的高分辨率自動快門控制使得多個晶片能夠同步暴露在相同的沈積條件下。這樣可以確保無與倫比的過程可重復性和統一性。此外，G5能夠快速熱循環，能夠更快地處理薄膜，減少沈積步驟。這將導致更高的吞吐量和更低的擁有成本。G5還具有精確的負載鎖定單元，允許快速的晶片裝卸，以及出色的吞吐量。使用交流電源,機器可以快速達到並保持溫度。該工具還配備了低功率射頻陣列，允許進行高密度薄膜處理，並消除飛行中粒子造成的汙染。AMAT Centura DPS G5是一種先進的高性能反應器，能夠生產高質量的薄膜。G5具有無與倫比的工藝重復性、均勻性和高效的材料加工，是下一代設備高批量生產先進材料的首選反應堆。