二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188282 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆是一種高端、全自動等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)設備,旨在滿足半導體器件制造的苛刻需求。它既提供高級基板處理功能,又提供直觀的用戶界面,使用戶能夠快速方便地將其流程聯機。該系統的主要優勢是能夠按順序和大基板多層沈積材料,從而能夠高效生產集成電路和其他組件。AMAT Centura DPS G5具有多種電源,能夠使用多種氣體操作,包括氮、氫、氧、芳烴、矽烷和四甲基-銨-矽烷。功率水平可以從10瓦輕松調整到1200瓦,從而實現精確的沈積速率和材料均勻性。現場發射器對基板位置提供精確、高效的控制,實現高精度處理。平行電極單元的設計允許在一次運行中多層厚度均勻。為確保最佳流程質量,該機器具有實時流程監控、遠程訪問和復雜的數據記錄功能。這使用戶能夠跟蹤和查明可能需要進一步改進的任何流程參數。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5還包括AMAT Process Control Suite,它提供了一整套用戶友好的圖形工具,以進一步優化流程。Centura DPS G5專為大批量生產而設計,提供出色的基板處理和可靠的操作。它的可靠性確保了該工具在生產無缺陷零件時能夠持續滿足苛刻的周期要求。資產還具有各種安全功能,包括在緊急情況下自動關閉功能。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆是一個先進的模型,旨在提供可靠和精確的PECVD能力。其精密準確的過程控制允許高質量生產集成電路和其他組件,其精密的遠程數據記錄功能使用戶能夠持續監控和優化過程。
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