二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9309116 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一個專用的等離子體反應器，設計用於大批量生產先進的納米結構和裝置特性。它是一個集表面活化和等離子體沈積兩種真空處理技術於一體的獨立平臺。AMAT Centura DPS G5反應堆由各種部件組成，如低壓等離子體源、特性顯示、晶圓傳輸、環境系統和化學輸送單元。低壓等離子體源用於生產用於等離子體加工的反應性物質。最高可發射至4 mtor的操作壓力。這些功能顯示，包括電源和頻率控制，用於調諧等離子體反應器的最佳運行。這種顯示還允許完全定制反應堆的參數。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5的晶片傳輸部分設計用於將晶片從晶片加載器安全可靠地傳輸到等離子體腔，同時保持最佳熱性能。這種傳輸還包括帶有晶圓加載盒式磁帶的手套箱接口、真空隔離閥和光學傳感。Centura DPS G5的環境機器在全自動且易於使用的工具中提供反應氣體、自適應等離子體功率控制、背景氣體切換以及配方。該資產確保了最高質量和最可重復的等離子體蝕刻過程。DPS G5的化學遞送模型由化學劑量歧管組成，能夠精確地向生產區域供應化學物質。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5由於其堅固的微基板平臺和雙真空處理技術，以高效的成本提供了可重復和可控的工藝。這種反應器能夠快速蝕刻、沈積和清潔金屬、氧化物、氮化物等，以行業領先的速度精確精確。其用戶友好的控制面板、完整的軟件集成和網絡連接使用戶能夠在易於訪問的界面中保持一致的過程。