二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797 待售
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ID: 9352797
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆是一種用於薄膜結構沈積和蝕刻的高性能熱處理設備。該反應堆是為過程可變性、均勻性和可重復性是成功的關鍵因素的應用而設計的。G5利用行之有效的技術提供精確、可重復和可靠的流程結果。AMAT Centura DPS G5反應堆的設計特點是具有溫度控制功能，每個腔室都有數字溫度提名器，並有一個多區、氣體保護的特殊堆芯熱散熱器，能夠運行到1200 °C。高效泵和均勻的蝕刻分布為過程重復性和高產率提供了可靠的工藝條件。反應堆配備了自動清潔功能，通過自動清潔程序減少維護。工業領先的沈積和蝕刻均勻性是通過對每個等離子體腔室進行高均勻性光學設計來實現的，這樣可以防止由於不對稱等離子體分布而導致的不均勻性偏斜過程結果。每個加工室都配有常規法拉第護罩或磁屏蔽墻，以最大限度地提高蝕刻均勻性。跨腔混合物輸送系統旨在提供高度可重復的工藝氣體，以確保可重現的沈積幾何形狀。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反應堆在所有處理操作中均具有低噪聲操作功能,並保持狹窄的工作溫度包絡,以將排放的顆粒和汙染物保持在最低限度。該反應堆的設計考慮到安全性，其特點是：一個氣體入口和一個氣體出口裝置設計成含有爆炸性氣體，一個緊急停止按鈕，一個快速緊急關閉閥，以便在檢測到過程失控情況時立即關閉機器，以及一個溫度融合工具，以防止過熱。Centura DPS G5 Reactor是需要精確度和可靠性的尖端熱處理應用的理想選擇。該反應堆憑借其高性能特性，能夠始終如一地提供優異的加工效果，使其成為任何先進熱處理需求的理想選擇。
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