二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379814 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS G5是一種性能極佳的300 mm矽晶片系列反應器，旨在實現最先進的器件結構。用於處理多晶矽等材料，以及高溫至800oC的氧化物、氮化物和矽化物。與任何其他反應堆相比，AMAT Centura DPS G5具有優化的晶圓直通裝置。它采用數字過程控制（DPC）技術，通過數字控制實現高可重復性精度，以穩定腔室環境。AMAT Centura還擁有快速傾斜功能,可最大限度地減少熱量預算並提高流程可重復性和除氣時間。應用材料Centura DPS G5提供霧化活化等離子體,用於將氧化物和氮化物還原為催化形式以進行CVD集成。這一特點使反應堆通過高度均勻的工藝氣體分配、快速響應時間和對膜厚度的精確控制，實現生產線性能的提升。該反應器具有直接驅動直線執行器，對先進的雙層沈積過程具有更高的精度和可重復性。這些反應也通過使用快速反應的RF/等離子體系列具有優越的清除控制。Centura DPS G5有一個雙基板加熱器選項，它允許高溫和高壓反應擴展數量的晶圓。它還具有具有DDR載荷/卸載特性的石英或氮化硼敏感劑，以減少晶圓的反向遷移和空氣暴露。它具有過程配方控制功能，保證過程的可重復性、均勻性和可重復性。此外,還實現了優化的晶片到晶片分布和工藝性能,並具有卓越的工藝質量。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一個可靠的高級沈積系統,非常適合制造高性能的高級IC和半導體器件結構。其精密的設計和各種可編程的特性使其成為當今業界最先進的沈積系統之一。