二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379816 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一種最先進的反應堆，用於沈積、蝕刻和植入各種材料。它提供了一個強大的模塊化設計建立在最新的光刻和蝕刻技術。這種最先進的反應堆非常適合半導體加工。DPS G5是圍繞一個管狀的內部體積構架，其中包含腔室和加工氣體。該室設有一組高速轉子，裝有各種離子束。DPS G5中的這一特性有助於通過等離子體和/或離子植入靶向材料，從而降低能耗。離子束的範圍包括氧離子和氮離子，它們能夠將這些材料植入基材中，用於廣泛的應用，例如半導體器件的制造。DPS G5具有許多集成到系統中的過程控制模塊。其中包括一個閉環沈澱室、多個真空泵和一個自動質量流控制器。利用這些內部控制系統，DPS G5能夠精確調節工藝氣體的質量流量、壓力和溫度，同時實現最佳控制和可重復性。該反應堆能夠提供較高的性能速率和較高的吞吐量速率。DPS G5具有多種insitu診斷功能，如光譜學、工藝參數測量和等離子體控制。這個insitu診斷與機載自動化過程控制相結合，以精確的操作基板的表面。AMAT Centura DPS G5還設計用於易於維護。反應堆包含多個快速更換工具和模塊，使其更容易進行定期維護，例如更換過濾器和刀具。在性能方面，DPS G5能夠對多種材料進行蝕刻、沈積和植入，包括金屬、陶瓷、塑料和各種半導體材料。它能夠在高溫和高壓下以及在超高真空條件下進行工藝。總而言之,APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是各種材料加工應用的絕佳選擇。