二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379820 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一種高性能反應堆，旨在最大限度地提高生產率和降低成本。它是利用雙等離子體源（DPS）技術的單晶圓、高生產率、直聯設備。該系統基於雙頻、射頻驅動等離子體源，能夠在高壓和高溫下產生高密度等離子體。DPS技術有助於創建等離子體在晶圓上的不同氣體剖面分布。雙氣體噴射裝置有助於確保均勻性和模式化，增加整個晶片的蝕刻均勻性。機器還有一個集成的等離子體監控工具，有助於保持一致的輪廓。反應堆還采用模塊化架構設計，允許對其進行配置和重新配置，以適應不同的工藝要求。此模塊化設計還有助於減少停機時間並加快流程開發。反應堆還具有廣泛的工藝能力，從低壓工藝到高功率工藝。它的模塊化設計還允許多種配置和工藝選項,使其成為生產和開發的理想工具。AMAT Centura DPS G5是高級應用程序的理想工具,需要高精度、高吞吐量和跨晶圓的均勻性。