二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379822 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reactor是一種用於半導體器件制造的大功率加工工具。它能夠在基板上高速蝕刻和沈積材料，非常適合產生極其復雜的特征。G5反應堆是一種混合雙束直接等離子體源（DPS）反應堆，將感應耦合等離子體（ICP）源與微波激發電容耦合等離子體（CCP）源結合在一起。G5配備了強大的微波發電機，提供高達5 kW的能量。微波束隨後聚焦在基板上，產生離子能量和粒徑非常均勻的等離子體。這種均勻性對於確保一致的蝕刻和沈積結果非常重要。G5反應堆的DPS架構進一步確保了穩定和精確的微波等離子體。G5還具有廣泛的氣體控制功能，以確保進行蝕刻和沈積的理想加工環境。G5中使用的氣體包括NF3、O2、Ar、O2/N2和H2。通過仔細控制這些氣體的流動，G5產生的蝕刻和沈積質量高於傳統工藝。G5反應堆還具有多種先進的安全功能，如自動化、故障安全、微波關閉系統，以確保最大程度的安全和運行可靠性。它還旨在盡量減少加工副產品的汙染，進一步提高產量和產品質量。最後，AMAT Centura DPS G5反應堆是一種強大可靠的工具，非常適合制造高質量的半導體器件。G5以其雙束DPS架構，廣泛的氣體控制特性，以及眾多的安全系統，是半導體器件制造市場上首屈一指的反應堆之一。