二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS I #9116831 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS I是一個單晶片反應器，設計用於低溫半導體和器件應用的高性能擴散和氧化過程。該反應堆采用創新的雙滲透氣體輸送設備，以確保最優均勻性、總質量傳輸和對工藝參數的精確控制。創建該平臺的目的是簡化工作負載,同時保持所需的產量。AMAT Centura DPS I反應器外殼和腔室系統是由不銹鋼構成的，沒有來自基本工藝部件的電流接觸。Centura單元的尺寸測量總寬度為950毫米，總高度為796毫米，總深度為959毫米。APPLIED MATERIALS Centura DPS I的內部腔室總尺寸為505 mm,長度為610 mm。反應堆的腔室在560°C和6 x 10-4 Torr測量。機器的總載荷容量包括晶圓盒20公斤，最大載荷均勻度± 0.3 °C。Centura DPS I旨在進一步優化用戶的便利性,包括雙淋浴頭質量傳輸、可配置區域功能、高級氣體清除模式、Process Manager軟件、輕松處理維護和真空過程監視器。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS I反應堆裝有正在申請專利的雙噴頭質量運輸工具，該工具在Centura反應堆運行期間向每個噴頭供應單獨控制的氣流。這種二合一氣流資產通過在每一個向下的雨水頭提供精確控制和相等的反應性氣體總質量傳輸，實現了過程的均勻性。AMAT Centura DPS I反應堆還具有可配置的區域功能，通過允許操作員設置最多三個獨立的氣體流區，數字顯示每個單獨區域的溫度、流量和壓力設置，進一步增強了過程程序。先進的氣體凈化模式可以提高精度,縮短凈化時間,提高熱一致性.Process Manager軟件使用戶界面的控制更容易、更直觀,允許創建和操作配方,而無需重新編碼。真空過程監視器利用先進的發電機通過實時監控來測量整個過程中的真空,從而確保過程結果是一致的。此外，EasyProcessingMaintenance及其機載診斷使操作員能夠輕松診斷和排除反應堆問題。APPLIED MATERIALS Centura DPS I是一種功能強大的單晶圓反應器，設計用於低溫半導體和器件應用的高精度擴散和氧化過程。Centura DPS I反應器具有雙滲透氣體輸送模型、可配置區域功能和先進的氣體凈化模式,能夠提供精確控制和統一的工藝參數,最大限度地提高用戶的便利性和收率。