二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ I #9116833 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+I是為先進半導體器件制造而設計的反應堆。它是一種高溫、超高真空熱處理設備，能夠制造小型、高性能的半導體器件。該系統旨在提供超高真空（UHV）處理和均勻加熱能力。AMAT Centura DPS+I是專為先進半導體器件制造而設計的高溫超高真空熱處理裝置。這是先進工藝技術的行業標準工具。為薄膜材料的快速溫度傾斜、薄層沈積、回流和燒結以及納米結構和納米設備的熱處理提供了解決方案。APPLIED MATERIALS Centura DPS+I有一個橫梁架構，有兩個工藝室、一個載荷鎖定室和一個單獨的冷卻室。此體系結構允許優化熱處理。負載鎖室提供了過程靈活性和提高機器吞吐量.工藝室是真空密封的，能夠達到0.1毫巴的溫度。這種低溫範圍對於加工對熱敏感程度較低的材料（如纖維層）非常重要，尤其是在涉及納米結構的情況下。Centura DPS+I配置了電子束測量工具（EBEAM），提供實時、原位的過程監控。這樣可以更好地控制和連接流程參數,同時還提供詳細的數據采集和數據處理。該資產還提供諸如溫度跟蹤、快速溫度傾斜、壓力曲線調整以實現最佳等離子體處理、自動化過程控制和靈活的過程集成等功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+I設計具有安全功能,可保護用戶和型號完整性。這包括防止氣體積聚的工藝、提供溫度監測器以及維持適當的溫度水平以便安全運行。此外，設備還配備了保護裝置，如超壓安全閥、腔末平衡閥和功率調節桿。總體而言，AMAT Centura DPS+I是一個通用可靠的系統，能夠為先進的半導體器件制造提供高效的熱處理。該設備提供可靠的性能、精確的過程控制和改進的機器吞吐量,使客戶能夠實現高產率並提高設備性能。