二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HP #9314662 待售
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ID: 9314662
晶圓大小: 12"
Etcher, 12"
Poly etch
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
RF Gen rack
AC Rack
Missing parts:
KAWASAKI ATM Robot EFEM
Buffer chamber ( VHP Robot)
Turbo pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HP是一種高度先進的晶圓加工反應器，為優化速度和精度而設計。它采用多區腔室設計，提供均勻的材料加熱和沈積，確保結果一致。該工藝室具有一個集成的工作臺,該工作臺具有三個左右的水平區域,可用於六個獨立的冷卻解決方案,並具有獨立的溫度控制功能。此表允許同時進行流程,使用戶能夠獲得更高的吞吐量和更快的周期時間。反應堆室被真空歧管包圍。歧管的設計確保了該過程在允許晶片均勻沈積和蝕刻的真空中進行。該室還配備了氣體噴射設備，按照測量的工藝溫度提供精確數量和比例的工藝氣體。AMAT Centura DPS II AE Mesa HP還配備了AMAT控制系統，該系統允許流程工程師為不同的安裝創建單獨的配方。它還提供了對工藝條件的實時監控,並實現了工藝優化。此外,該設備還配備了安全功能,以確保符合要求的安全標準。該反應堆還提供高精度，並提供沈積和蝕刻材料厚度的均勻性。它還提供了極好的可重復性和高水平的工藝控制，以提高晶圓生產過程的產量。最後,應用材料Centura DPS II AE Mesa HP旨在實現高性能晶片加工,並具有均勻的加熱、沈積和蝕刻特性。這座反應堆配有真空歧管、氣體噴射機和控制工具，為用戶提供了一個提供均勻、可重復過程的強大工具。此外，這種反應堆的設計是為了最大程度地提高工藝安全性、準確性和產量。
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