二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284376 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2是專門為半導體制造而設計的半自動、生產級反應堆。它是一種先進的多室設備，用於設備制造的光刻、沈積、蝕刻和表面處理工藝。該系統由四個單獨的加工腔組成，每個腔能夠容納直徑達12英寸的200毫米晶圓基板。該裝置配有一個雙級機械臂，允許從腔室插入和移除基板。這個機器人臂是由一個手動的負載鎖，可用於加載和卸載晶片從他們的容器補充。AMAT Centura DPS II Mesa T2還包括一臺快速壓力控制機，使每個腔室能夠在五分鐘的跨度內達到高達8 Torr的壓力。此外，整個工具的精確加熱器控制可以達到攝氏30至350度的溫度範圍。此外,APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2具有先進的維護資產,可幫助操作員識別泵中的再循環錯誤,減少汙染的可能性,並簡化預防性維護。此模型為用戶提供全面的診斷系統、完整的事件日誌和板載部件套件支持。此外，設備還允許操作員遠程升級和監測反應物的組成和工藝。最後,Centura DPS II Mesa T2符合SEMI E 12和SEMI S2等行業標準。該系統設計為潔凈室兼容，並配有排氣單元和排氣洗滌機。它的占用空間很小,可以輕松安裝,並且可以根據客戶的需要對工具進行定制配置。
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