二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284377 待售
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ID: 9284377
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Poly etcher, 12"
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2是一種多反應堆設備，設計用於半導體行業的先進摻雜和蝕刻工藝。它建立在AMAT高性能氮化鈦（TiN） T2工藝技術平臺上,能夠對各種接觸、閘門和溝槽結構進行極其快速、高效和經濟的處理。該系統由幾個組件組成--一個晶片反應室、一個遠程等離子體源，以及另外兩個為多種摻雜劑和蝕刻劑應用配置的反應室。腔室設有高溫烤箱、可編程氣體控制、壓力控制以及多個電極和晶圓提升器，以實現均勻、可重復的沈積過程。AMAT Centura DPS II Mesa T2單元為用戶提供了幾個關鍵優勢。它執行高效、經濟高效、均勻的沈積過程，可用於各種摻雜和蝕刻應用，包括晶圓清洗和氧化物沈積。該機還具有可變氣流和壓力設置，以提高工藝精度和重復性。此外，該單元設計有多個工藝電極，有助於最大限度地降低場反轉的風險，最大限度地提高處理的吞吐量和均勻性。該工具可容納單個和多個平臺處理,允許客戶自定義其流程選項。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2也為摻雜劑和蝕刻管理提供了完整的環境。這包括用於摻雜劑監測和過程控制、集成蝕刻室監測和實時模型管理的全自動資產。該設備還提供多個過程控制模塊,包括手動、半自動和閉環控制選項,可根據每個客戶的個人需求進行配置。總體而言，Centura DPS II Mesa T2是一種先進的反應堆系統，為用戶提供高效、經濟高效和統一的沈積工藝。憑借其高性能的氮化鈦工藝平臺、多個工藝控制模塊以及集成的摻雜和蝕刻監控功能，客戶可以信任該單元為其半導體應用提供可靠、可重復的結果。
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